Эксимерные лазеры, или реактивные газовые лазеры, представляют собой особый класс лазерных устройств, которые используют редкие газы и газовые смеси в качестве активных сред для генерации лазерного излучения. Их название происходит от английских слов «excited dimer» (возбужденный димер), что указывает на их способность генерировать излучение за счет возбужденных молекулярных димеров.