Генерация ксеноновой плазмы также может быть использована при обработке материалов. Её можно применять для покрытия материалов тонкими пленками, что является важным этапом в производстве электронных устройств, таких как солнечные элементы. Плазма высокой плотности, генерируемая ксеноном, может создавать однородное и точное покрытие, что приводит к более качественным и эффективным устройствам.